公司名稱：山東藍(lán)海環(huán)?？萍加邢薰?/p>
聯(lián) 系 人：黃經(jīng)理
聯(lián)系手機(jī)：15865699606
公司電話：0530-8508508
工廠地址：山東省菏澤市巨野縣中小企業(yè)孵化園
RTO焚燒爐半導(dǎo)體廢氣處理
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2022-07-26 09:11
RTO焚燒爐半導(dǎo)體廢氣處理
1、 半導(dǎo)體廢氣處理組件
半導(dǎo)體工業(yè)廢氣的主要成分是有機(jī)廢氣和酸堿廢氣。有機(jī)成分：非甲烷碳?xì)浠衔?、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿成分：氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。
2、 工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)
3、 半導(dǎo)體廢氣處理方法
一般半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理的解決方案如下：
（1） 預(yù)處理階段：采用噴淋塔對廢水進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵和溶于水的有害氣體。
（2） 主要處理階段：這一階段，較為常用和有效的方法有：紫外線光解、生物過濾分解、焚燒和催化燃燒。